オプション一覧
風防BOX

除振台

ガス置換型アクリルグローブボックス

ガス置換型SUSグローブボックス

温度・湿度制御装置

循環ろ過装置

塗布液を一定の液面に保ち、また塗布液を循環させてフィルターをかけて不純物を除去するシステムです。
処理タンク: 4面オーバーフロー方式(サブタンク付) タンクサイズ・フィルター精度・循環方式(Air, Chemical)・流量などお客様の仕様に合わせてカスタマイズ致します。
粘度計(比重計)による濃度管理、熱交換器による液温管理も追加可能です。
タンク

基板サイズに合わせたタンクをオーダーメードでお作りします。
材質: SUS・ガラス・テフロン・テフロンコートなど